吸附劑新聞
天津同益環(huán)保設(shè)備有限公司為您介紹一種酸廢氣處理方法，該方法為在使廢氣與堿性的氣體處理液接觸，分離除去該廢氣中的酸性成分的酸性廢氣的處理方法中，使酸性廢氣與由季銨化合物的水溶液組成的氣體處理液接觸，從該酸性廢氣中分離除去酸性成分，該方法可以在不污染周圍環(huán)境的清潔條件下容易而有效地處理含有酸性成分，特別是氟和氟化物的酸性廢氣，因此，它也可以在半導(dǎo)體工藝中的凈室內(nèi)實(shí)施，特別適用于處理半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的含有氟和／或氟化物的酸性廢氣。
一種酸性廢氣的處理方法，在使廢氣與堿性的氣體處理液接觸，從該廢氣中分離除去酸性成分的酸性廢氣的處理方法中，其特征在于使酸性廢氣與由下列通式（１）所示的季銨化合物的水溶液組成的氣體處理液接觸，從而從該酸性廢氣中分離除去酸性成分。 ＊＊＊ （其中，式中的Ｒ↓〔１〕～Ｒ↓〔４〕表示相同或不同的Ｃ↓〔１～３〕的烷基或羥基取代的烷基，Ｘ表示ＯＨ↑〔－〕或１／２ＣＯ↓〔３〕↑〔２－〕）。